استاندارد صنعتی تدوین‌شده توسط انجمن صنایع تجهیزات نیمه‌هادی (SEMI) که حداقل سطح تحمل تجهیزات ساخت نیمه‌هادی در برابر افت ولتاژ (Voltage Sag Immunity) را برای جلوگیری از توقف خط تولید تعیین می‌کند؛ محدودتر و مشخص‌تر از منحنی‌های عمومی CBEMA/ITIC و ویژه صنعت نیمه‌هادی است.
کیفیت توان و هارمونیک
استاندارد SEMI F47SEMI F47
کاربرد
کارخانه‌های ساخت تراشه و قطعات نیمه‌هادی، الزام انطباق تجهیزات تولید با SEMI F47 را در قراردادهای خرید تجهیزات و طراحی منبع تغذیه بدون وقفه درج می‌کنند.
مرجع/استاندارد: SEMI F47